SiC의 병목은 웨이퍼가 아니라 열처리에 있다: 아이엘이 128억원에 사들인 퍼니스·RTP 기술

코스닥 상장사 아이엘이 SiC 전력반도체 장비기업 리드엔지니어링 지분 80%를 128억원에 인수하는 주식매매계약을 체결했다고 전자신문이 2026년 9월 10일, ZDNet 코리아가 9월 11일 보도했다. 기업가치는 160억원으로 평가했고 대금은 현금 50억원과 전환사채 78억원으로 나뉘며, 잔여 20% 콜옵션도 확보했다. 2006년 설립된 리드엔지니어링은 퍼니스와 급속열처리(RTP) 장비를 주력으로 온세미컨덕터·SK하이닉스를 고객사로 두고 있고, 최근 SiC RTP와 옥시데이터(산화막 형성) 장비로 영역을 넓히고 있다. 차량용 SiC 논의가 웨이퍼와 파운드리 라인에 쏠려 있던 사이, 수율을 실제로 가르는 고온 공정 장비 쪽에서 국내 M&A가 나왔다는 점이 이번 건의 핵심이다.